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2X-2A旋片式真空泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,如图所示。当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。
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2X-2 |
2X-4A |
2X-8A |
2X-8 |
2X-15A |
2X-15 |
2X-30 |
2X-70 | ||
2 |
4 |
8 |
15 |
30 |
70 | |||||
极限真空 |
关气镇 开气镇 |
Pa(Torr) |
6×10-2(≤5×10-4)110 | |||||||
6×10-1(5×10-3) |
(≤1×10) | |||||||||
电动机功率(KW) |
0.37 |
0.55 |
1.1 |
1.5 |
3 |
5.5 | ||||
温升(℃) |
≤40 | |||||||||
进气口径(mm) |
18 |
25 |
40 |
40 |
65 |
80 | ||||
转速(r/min) |
450 |
590 |
420 | |||||||
用油量(L) |
0.7 |
1.0 |
2.0 |
2.8 |
3.0 |
4.2 | ||||
噪声dB(A) |
68 |
≤68 |
≤70 |
≤75 |
≤78(~70) |
≤80(~75) | ||||
外形尺寸(cm) |
56×31×39 |
56×34×37 |
79×43×54 |
79×53×54 |
78×50×56 |
91×65×70 | ||||
适用电磁阀型号 |
DDC-JQ25 |
DDC-JQ40 |
DDC-JQ65 |
DDC-JQ80 | ||||||
重量(kg) |
58 |
55 |
80 |
110 |
232 |
330 | ||||
冷却方式 |
自然冷却 |
水冷 |
自然冷 |
水冷 | ||||||
冷却水量(L/min) |
- |
>0.5 |
- |
>0.8 |
>1 |
>2 |
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。
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